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    磨削中精密測量技術
          精密測量技術是精密加工發展的基礎和先決條件之一,這已被生產發展的歷史所證實。從生產發展的歷史來看,精密加工精度的提高總是與精密測量技術的發展水平相關的。由于有丫干分尺類量具,J能使加工精度達到0.1mm;有了測微比較儀,才能使加工精度達到1ym左右;有了囚度儀,才能使加:r精度達到o.1Pm;有了激光十涉儀,才能使加工精度達到o.1一o.olflm:N前,國際上精密工藝的加工精度已能穩定地達到lym,正在向著穩定精度為o.1一o.017‘n、的加上水平發展,表面租糙度的測量則向o.o01ym(1nm)水平發展,納米技術正在形成新的技術熱點,而材料、精密加上、精密測員與控制已經成為現代精密工程(包括宇航)的三大支柱。對于科學技術來說,測量與按制是促進其發展的關鍵原因,測量的精度和效率在一定程度上決定著國家科學技術的水平。
          目前,在機械工業研究領域,尤其是精密超精密研究領域,精密測量方法與儀器已成為科學研究中的最重要手段,例如研究鏡面磨削工藝參數對加上誤差的影響,研究精密表面的瘴擦磨損,特別是在要求晶格無畸變的硅片的超精密研磨中,平面度的測量要求達到5M.粗糙度測量要求達到0.1nm。如沒有高精度測量儀器,是不可能實現的。在電子、計算機、航空等工業部門,精密測量技術也被提到從未有過的高度。例如,制造超大規模集成電路,要求在1mm’的面積上:就集成looo個以上品體管,線條寬度僅在lf4m左右,尺寸誤差為0.1ym;在制造掩模原版的圖形發生器巾,其定位精度要求達到o.1flm。所以要研究這種集成電路的裝備,必須有測量用的高精度測量和定位系統。此外,在高純度單晶砍的品格參數測量、在納米表面制造以及對生物細胞、空氣污染微粒、石油纖維等基礎研究中,也無不需要精密測量技術。
          文章整理:砂輪 http://www.ayoclix.com/news.asp?SortID=2


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